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位移傳感器作為工業(yè)自動化與精密制造的核心組件，其非接觸式高分辨率近距離測量技術正推動制造業(yè)向智能化、高精度方向演進。基于電容、激光、電磁等原理的非接觸式傳感器，通過消除機械磨損與環(huán)境干擾，實現(xiàn)了亞微米級位移測量，廣泛應用于半導體加工、航空航...
隨著傳統(tǒng)的2D硅縮放達到其成本極限，半導體行業(yè)正在轉向異構集成-將具有不同特征尺寸和材料的多個不同組件或管芯的制造，組裝和封裝到單個設備或封裝中，以提高性能，這就是混合鍵合技術。EVG是面向MEMS、納米技術和半導體市場的晶圓鍵合和光刻設備的供應商，近期推出了EVG®320D2W裸片制備和活化系統(tǒng)，這是業(yè)內(nèi)弟一個用于混合硅酸鹽管芯對晶片鍵合活化和清洗系統(tǒng)。晶圓鍵合系統(tǒng)集成了D2W鍵合所需的所有關鍵預處理模塊，包括清潔，等離子體活化，芯片對準驗證和其他必要的計量工具，并...
電容式位移傳感器是一種廣泛應用于機械加工、自動化控制和精密測量等領域的傳感器。它可以檢測物體的微小位移，并將其轉換為電信號輸出，具有高精度、高靈敏度、可重復性好等特點。電容式位移傳感器的工作原理基于電容的變化。當兩個帶電電極之間有介質(zhì)隔開時，它們之間的電容量會受到介質(zhì)性能和電極間距離的影響而改變。因此，在該傳感器中，常采用平行板電容器的結構，將一個電極固定在底部的稱為靜電極，另一個電極固定在一個動態(tài)可移動的測量物體上，稱為運動極。當測量物體發(fā)生微小的位移時，運動極的位置也會發(fā)...
電鏡隔振臺是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統(tǒng)，有利于為基礎研究、應用研究、生產(chǎn)等領域所用精密儀器創(chuàng)造穩(wěn)定的測量環(huán)境。本產(chǎn)品可在寬頻率范圍內(nèi)進行隔振，為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、微型檢測設備等提供優(yōu)異的隔振性能。工作原理：安裝有測量和制造設備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設備造成不利影響，有效的解決方案則是使用隔振臺，以便營造適合該設備的條件。電鏡隔振臺使用電氣控制，通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生...
1.簡介光學光刻（Opticallithography），也稱為光學平版印刷術或紫外光刻，是在其他處理步驟（例如沉積，蝕刻，摻雜）之前用光刻膠對掩模和樣品進行構圖的方法。2.設備（接近式光刻機）2.1HMDS及涂膠1)標準旋轉工藝中包括HMDS蒸汽預處理2)烤箱-批量處理多個晶圓3)HMDS也可以在手動旋轉器上旋轉涂布4）涂膠機上進行光刻膠的涂布2.2對準接觸光刻1)光刻前的對準2)對準器——處理具有對準圖形的晶圓3)EVG610等掩模對準機——尺寸從碎片到12”晶圓4)曝光...
電容式位移傳感器是一種常用的測量裝置，可以實時監(jiān)測物體的位置、形態(tài)和運動狀態(tài)等。但是，在使用電容式位移傳感器時，也存在一些需要注意的問題，以下為詳細介紹：1.靜電干擾：電容式位移傳感器對靜電干擾比較敏感，在使用時應盡可能減少或避免靜電干擾。特別是在干燥環(huán)境下，靜電干擾更加嚴重，會造成誤差的產(chǎn)生。2.靈敏度：本產(chǎn)品的靈敏度較高，因此需要進行相應的校準，以確保其精度和可靠性。校準時應注意傳感器與被測對象之間的距離、介質(zhì)、溫度等因素的影響。3.溫度漂移：溫度變化會導致產(chǎn)品本身的參數(shù)...